扩散连接是在一定的温度和压力下，经过一定的时间，连接界面原子间相互扩散，实现可靠的连接。在焊接时，一定要保证连接面及被焊金属不受空气的影响，才能保证得到优质的接头。所以，一般情况下，扩散连接设备都是使用的真空扩散连接，下面就一起来了解下扩散连接设备组成结构吧。

1、真空系统

包括真空室、机械泵、扩散泵、管路、切换阀门和真空计组成。真空室的大小要根据焊接工件的尺寸确定，对于确定的机械泵和扩散泵，真空室越大，抽到10^-3Pa所需的时间就越长。一般情况下，机械泵能达到的真空度是10^-1Pa，扩散泵可以达到10^-3Pa~10^-5Pa真空度。

2、加热系统

高频感应扩散焊接设备采用高频电源加热，工作频率为60-500kHz，由于集肤效应的作用，该类频率区间的设备只能加热较小的工件。对于较大或较厚的工件，为了缩短感应加热时间，最好选择500-1000Hz的低频焊机设备。

3、加压系统

为了使被连接件之间达到密切接触，扩散连接时要施加一定的压力。对于一般的金属材料，在合适的扩散连接温度下，采用的压强范围为1-100MPa。对于陶瓷、高温合金等难变形的材料，或加工表面粗糙度比较大，或当扩散连接温度较低的时候，才采用较高的压力。

4、控制系统

控制系统主要实现温度、压力、真空度及连接时间的控制，少数设备还可以实现位移测量及控制。温度测量采用镍铬-镍铝、钨-铑、铂-铂铑等热电偶，测量范围是293-2573K，控制精度范围为±（5-10）K。

5、冷却系统

为了防止设备在高温下损坏，对扩散泵、感应加热线圈、电阻加热电极、辐射加热的炉体等应按照要求通水冷却。

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