固相扩散连接是扩散焊的一种分类，其第一阶段是物理接触阶段，这是保证整个表面都可靠接触，只有接触面达到一定的距离，原子间才能相互作用形成原子间的结合，才能形成可靠的连接。在高温下微观不平的表面，在外加压力的作用下，总有一些点首先达到塑性变形，在持续压力的作用下，接触面逐渐增大，而达到整个面的可靠接触。

第二阶段是接触的表面原子间的相互扩散，形成牢固的结合层。

第三阶段是在接触的部分形成的结合层，逐渐向体积方向发展，形成可靠的连接接头。

上述过程相互交叉进行，最终在连接界面处由于扩散、再结晶等生产固溶体及共晶体，有时生产金属间化合物，形成可靠的连接接头。该过程不但要考虑扩散过程，同时也要考虑界面生成物的性质，如性能差别较大的两种金属，在高温长时间扩散时，界面极易形成脆性金属间化合物，而使接头性能变差。

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